指標(biāo)

Specifications

流量測(cè)量范圍

0-1，2，3，5，10，20，50，100，250SLM

Flow range

流量測(cè)量范圍

±1% F.S.（100SCCM~10SLM N2）
±2% F.S.（20SLM~250SLM N2）

Accuracy of flow

壓力測(cè)量范圍

0~1.5 MPa

Pressure range

壓力測(cè)量精度

0.1%FS

Accuracy of pressure

系統(tǒng)單點(diǎn)漏率

1×10-7SCCS He

Leak integrity

供電電源

~220VAC±10%

Power supply

zui大功耗

15 W

Max consumption

外形尺寸

440×260×260mm

Dimension

重量

8 Kg

Weight